APA (7th ed.) Citation

Semyonova, S. E., & Semyonov, E. I. (2006). Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Semyonova, S. E., and E. I. Semyonov. Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2006.

MLA (8th ed.) Citation

Semyonova, S. E., and E. I. Semyonov. Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2006.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.