Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
A methodology for photometric control of the etching rate of thin dielectric films is proposed, the essence of which consists in applying methods of double differentiation and time intervals to the signal of a photometric measuring device. An automated photometric system implementing this methodolo...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1862405640652062720 |
|---|---|
| author | Semyonova, S. E. Semyonov, E. I. |
| author_facet | Semyonova, S. E. Semyonov, E. I. |
| author_sort | Semyonova, S. E. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-04-13T11:13:04Z |
| description |
A methodology for photometric control of the etching rate of thin dielectric films is proposed, the essence of which consists in applying methods of double differentiation and time intervals to the signal of a photometric measuring device. An automated photometric system implementing this methodology is described. A program has been developed for processing the obtained signal and calculating the current etching rate. Graphs of the photometric signal, film thickness, and instantaneous deposition or etching rate of the dielectric film are displayed on the computer screen.
|
| first_indexed | 2026-04-14T01:00:26Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-991 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-04-14T01:00:26Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-9912026-04-13T11:13:04Z Photometric control system for the etching rate of thin dielectric films Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок Semyonova, S. E. Semyonov, E. I. automation photometric control etching rate dielectric films thin films автоматизация фотометрический контроль скорость травления диэлектрические пленки тонкие пленки A methodology for photometric control of the etching rate of thin dielectric films is proposed, the essence of which consists in applying methods of double differentiation and time intervals to the signal of a photometric measuring device. An automated photometric system implementing this methodology is described. A program has been developed for processing the obtained signal and calculating the current etching rate. Graphs of the photometric signal, film thickness, and instantaneous deposition or etching rate of the dielectric film are displayed on the computer screen. Предложена методика фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок, суть которой состоит в применении методов двойного дифференцирования и временных интервалов к сигналу фотометрического измерителя. Описана автоматизированная фотометрическая система, реализующая данную методику. Разработана программа для преобразования полученного сигнала, вычисления текущей скорости. На экран компьютера выводятся графики фотометрического сигнала, толщины пленки и мгновенной скорости нанесения или травления диэлектрической пленки. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006-02-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43 Technology and design in electronic equipment; No. 1 (2006): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 43-45 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 43-45 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43/902 Copyright (c) 2006 Semyonova S. E., Semyonov E. I. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | автоматизация фотометрический контроль скорость травления диэлектрические пленки тонкие пленки Semyonova, S. E. Semyonov, E. I. Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| title | Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| title_alt | Photometric control system for the etching rate of thin dielectric films |
| title_full | Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| title_fullStr | Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| title_full_unstemmed | Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| title_short | Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| title_sort | система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок |
| topic | автоматизация фотометрический контроль скорость травления диэлектрические пленки тонкие пленки |
| topic_facet | automation photometric control etching rate dielectric films thin films автоматизация фотометрический контроль скорость травления диэлектрические пленки тонкие пленки |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43 |
| work_keys_str_mv | AT semyonovase photometriccontrolsystemfortheetchingrateofthindielectricfilms AT semyonovei photometriccontrolsystemfortheetchingrateofthindielectricfilms AT semyonovase sistemafotometričeskogokontrolâskorostitravleniâtonkihdiélektričeskihplenok AT semyonovei sistemafotometričeskogokontrolâskorostitravleniâtonkihdiélektričeskihplenok |