Зображення обкладинки

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок

A methodology for photometric control of the etching rate of thin dielectric films is proposed, the essence of which consists in applying methods of double differentiation and time intervals to the signal of a photometric measuring device. An automated photometric system implementing this methodolo...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Semyonova, S. E., Semyonov, E. I.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Теми:	автоматизация фотометрический контроль скорость травления диэлектрические пленки тонкие пленки
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
за авторством: Gasparov, V.A.
Опубліковано: (2011)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
за авторством: Марченков, В.В.
Опубліковано: (2011)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика
за авторством: Istomin, A. S., та інші
Опубліковано: (2006)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
за авторством: Bobrenko, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
за авторством: Баран, Л.В.
Опубліковано: (2011)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
за авторством: Оноприенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
за авторством: Устинов, А.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
за авторством: Бувайло, А.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Вплив підшарів ґерманію на оптичну провідність тонких плівок золота
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2018)

Еліпсометричні властивості тонких плівок молібдену при збудженні поверхневих поляритонів
за авторством: Лендел, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Вплив підшарів германію на поріг протікання струму в тонких плівках міді
за авторством: Бігун, Р.І., та інші
Опубліковано: (2013)

О механизме формирования рентгеноаморфной структуры плёнок сплавов Ni—W
за авторством: Точицкий, Т.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Эффект Фарадея в тонких плёнках металлов Fe, Co, Ni на подложках из полиэтилентерефталата
за авторством: Шаповал, К.О., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
за авторством: Заблудовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Вплив проміжного нанопрошарку на кінетику фазоутворення та впорядкування в тонких плівках — моделювання середньопольовою кінетичною методою
за авторством: Безпальчук, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Переохлаждение при кристаллизации тонких слоёв сплава Bi + 7% масс. Sn, находящихся в контакте с кристаллической медью
за авторством: Дукаров, С.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода
за авторством: Zhavzharov, E. L., та інші
Опубліковано: (2006)

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
за авторством: Буданов, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
за авторством: Maximenko, L. S., та інші
Опубліковано: (2013)

Состояние и основные направления развития температурного и теплофизического контроля металлургических процессов
за авторством: Жуков, Л.Ф.
Опубліковано: (2006)

Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oᵧ
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2007)

Прогноз диэлектрических потерь в стеклокерамике для разных соотношений массовых долей компонентов
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
за авторством: Rudenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2015)

Магнетні та магнеторезистивні властивості плівок феромагнетних металів
за авторством: Воробйов, С.І., та інші
Опубліковано: (2015)