Зображення обкладинки

High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2004
Автор:	V. I. Farenik
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2004
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849744
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Low Energy-intensive plasma systems with discharges in combined electric and magnetic fields
за авторством: V. I. Farenik
Опубліковано: (2009)

Research and development of technological systems based on high-frequency induction discharge for reactive ion-plasma etching of micro- and nanostructures
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2009)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Stationary regimes of low pressure magnetron discharge
за авторством: A. V. Zykov, та інші
Опубліковано: (2015)

Dissociative mode in low-pressure RF discharge
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)

Conversion of the energy of low-frequency oscillations into the energy of high-frequency oscillationsin magnetoactive plasma
за авторством: Buts, V.A.
Опубліковано: (2023)

Nitriding of the steels in gas arc low pressure discharge
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)

The formation of the low-sized high density plasma structures in the self-maintained plasma-beam discharge
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)

Theoretical and experimental study of the factors of sterilization of medical articles in low pressure glow discharge plasma
за авторством: Soloshenko, I.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Studies of plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by microwave stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Effect of pulsed high-frequency discharge treatment of graphene oxide on low-temperature hydrogen sorption
за авторством: A. V. Dolbin, та інші
Опубліковано: (2020)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Study of the neon dielectric barrier discharge on a capacitively coupled radio frequency at a low pressure with metastable atom density: Effect of the pressure
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)

Study of the neon dielectric barrier discharge on a capacitively coupled radio frequency at a low pressure with metastable atom density: Effect of the pressure
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)

Plasma streams of steady-state low pressure arc
за авторством: V. M. Khoroshikh
Опубліковано: (2005)

Coagulation and dynamics nanoparticles in low pressure plasma jets
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)

AIR ATMOSPHERIC-PRESSURE DISCHARGERS FOR OPERATION IN HIGH-FREQUENCY SWITCHING MODE.
за авторством: Yevdoshenko, L. S.
Опубліковано: (2013)

Spatial particles streams distribution in stationary arc discharge of low pressure
за авторством: V. M. Khoroshikh, та інші
Опубліковано: (2004)

Low pressure discharge initiated by microwave radiation with stochastically jumping phase
за авторством: Karas’, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2022)

Low frequency oscillations in U-2M conditioning RF discharges
за авторством: Dreval, M.B., та інші
Опубліковано: (2018)

Ultra-high vacuum investigations of atomic layers at low temperatures
за авторством: Grazhulis, V.A.
Опубліковано: (1998)

Kinetic simulaton of CO₂ conversion in low-pressure electrodeless plasma
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2022)

Сharging processes and phase states of macroparticles in low-pressure arc discharge
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of low energy glow discharge to the properties of irradiated materials in the process of vacuum-arc deposition
за авторством: Ju. V. Kunchenko, та інші
Опубліковано: (2009)

Comparative analysis of the refraction of microwaves at different frequencies in an inhomogeneous plasma of a high power impulse reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Vacuum arc plasma in presence of gas in discharge ambient
за авторством: V. M. Khoroshikh
Опубліковано: (2005)

Measurement of dispersion of low-frequency ion oscillations in hybrid plasma waveguides
за авторством: Antipov, V.S., та інші
Опубліковано: (2005)

Chaos in Duffing Oscillator with High- and Low-Frequency External Forcing
за авторством: Vavriv, D. M., та інші
Опубліковано: (2013)

Influence of copper admixtures on the properties of plasma and the contraction of a high pressure arc discharge
за авторством: P. V. Poritskij
Опубліковано: (2005)

I. Cathodic erosion and the cathodic mass losses in steady-state low-pressure arc discharge
за авторством: V. M. Khoroshikh
Опубліковано: (2004)

The formation of near anode double layer in highcurrent plasma diode of low pressure
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2002)

Review of modern instrumentation for magnetic measurements at high pressure and low temperature
за авторством: X. Wang, та інші
Опубліковано: (2014)

Feasibility of application of high-strength low-alloy steels for manufacture of high-pressure vessels
за авторством: V. M. Kulik, та інші
Опубліковано: (2011)

Low frequency digital receiver
за авторством: Ju. P. Galjuk
Опубліковано: (2015)