Зображення обкладинки

High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2004
Автор:	V. I. Farenik
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2004
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849744
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Research and development of technological systems based on high-frequency induction discharge for reactive ion-plasma etching of micro- and nanostructures
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2009)

Low-vacuum gas-discharge electron guns on the basis of high voltage glow discharge
за авторством: Tutyk, V.A.
Опубліковано: (2008)

Low Energy-intensive plasma systems with discharges in combined electric and magnetic fields
за авторством: V. I. Farenik
Опубліковано: (2009)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)

Dissociative mode in low-pressure RF discharge
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)

Stationary regimes of low pressure magnetron discharge
за авторством: A. V. Zykov, та інші
Опубліковано: (2015)

High-power low-frequency current oscillations in germanium samples
за авторством: Pavljuk, S.P.
Опубліковано: (2003)

Conversion of the energy of low-frequency oscillations into the energy of high-frequency oscillationsin magnetoactive plasma
за авторством: Buts, V.A.
Опубліковано: (2023)

Investigation of high-current plasma opening switch at low gas pressure
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2000)

Nitriding of the steels in gas arc low pressure discharge
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)

Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2020)

Obstructed DC glow discharge in low-pressure nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)

Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)

Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2022)

Studies of plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by microwave stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Theoretical and experimental study of the factors of sterilization of medical articles in low pressure glow discharge plasma
за авторством: Soloshenko, I.A., та інші
Опубліковано: (2000)

The formation of the low-sized high density plasma structures in the self-maintained plasma-beam discharge
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2006)

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Heating of nanoparticles in low-pressure plasma jets
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2022)

Effect of pulsed high-frequency discharge treatment of graphene oxide on low-temperature hydrogen sorption
за авторством: A. V. Dolbin, та інші
Опубліковано: (2020)

Low pressure discharge induced by microwaves with stochastically jumping phase
за авторством: Karas’, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Hollow cathode discharge in low pressure oxygen: transient mode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Studies of microwave characteristics and plasma parameters in low pressure discharge initiated in coaxial waveguide by stochastic radiation
за авторством: Karas, V.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Decomposition of ethelene in low temperature plasma of barrierless discharge
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2021)

On possibility of pressure perturbation resonant excitation by an external low frequency helical field near edge plasma
за авторством: Pankratov, I.M., та інші
Опубліковано: (2011)

Study of the neon dielectric barrier discharge on a capacitively coupled radio frequency at a low pressure with metastable atom density: Effect of the pressure
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)

Study of the neon dielectric barrier discharge on a capacitively coupled radio frequency at a low pressure with metastable atom density: Effect of the pressure
за авторством: A. Bouchikhi
Опубліковано: (2022)

AIR ATMOSPHERIC-PRESSURE DISCHARGERS FOR OPERATION IN HIGH-FREQUENCY SWITCHING MODE.
за авторством: Yevdoshenko, L. S.
Опубліковано: (2013)

Coagulation and dynamics nanoparticles in low pressure plasma jets
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)

Plasma streams of steady-state low pressure arc
за авторством: V. M. Khoroshikh
Опубліковано: (2005)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Spatial particles streams distribution in stationary arc discharge of low pressure
за авторством: V. M. Khoroshikh, та інші
Опубліковано: (2004)

Low pressure discharge initiated by microwave radiation with stochastically jumping phase
за авторством: Karas’, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Burning modes of dc low pressure discharge with a transverse constriction
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Modification of nonroach for the discharge sustained by surface waves in the range of the low pressure
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2005)