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High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2004
1. Verfasser:	V. I. Farenik
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2004
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849744
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