Buchumschlag

Plasma cleaning of technological chambers in rf capacitive discharges

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2004
Hauptverfasser:	V. Lisovskij, Zh.-P. But, K. Landri, D. Due, V. Kasan
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2004
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849749
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Ähnliche Einträge

Rf potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up
von: V. Lisovskij, et al.
Veröffentlicht: (2005)

Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
von: Manuilenko, O.V.
Veröffentlicht: (2012)

Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon
von: Lisovskiy, V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge
von: V. A. Lisovskiy, et al.
Veröffentlicht: (2003)

Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Dissociative mode in low-pressure RF discharge
von: V. A. Lisovskij
Veröffentlicht: (2006)

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
von: Zykov, A.V., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge
von: Yu. V. Kovtun, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
von: Lisovskiy, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
von: Kravchenko, O.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2015)

The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films
von: V. I. Gritsenko, et al.
Veröffentlicht: (2003)

The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
von: Hladkovskiy, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
von: V. V. Hladkovskiy, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
von: V. V. Hladkovskiy, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Ion energy and ion angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources: pure argon and argon-oxygen mixtures
von: Manuilenko, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Plasma parameters evolution during conditioning RF discharges in Uragan-2M torsatron
von: Skibenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2009)

2-D electron system in the RF-discharge plasma. Part I. General observations
von: Berezhnyj, V.L., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Peculiarities of electic Discharge Cleaning of Precise Casting
von: T. D. Denisjuk, et al.
Veröffentlicht: (2014)

MHD plasma activity in the U-3M torsatron during the RF cleaning mode with the magnetic field Bφ(0) = 0.02 T
von: Pashnev, V.K., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Beam dynamics in RF gun with plasma cathode
von: Khodak, I.V., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Application of glow discharge plasma for cleaning (activation) and modification of metal surfaces while welding, brazing, and coating deposition
von: M. G. Bolotov, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Computer simulation of dust transport phenomena in a RF discharge
von: Kravchenko, O.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Plasma catalysis of carbon nanoparticles synthesis in the pyrolytic chamber
von: Veremii, Iu.P., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Design and application of glow discharge cleaning at Uragan-2M stellarator
von: Kovtun, Yu.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

The capacitive component of double layer current in plasma
von: Hrechko, Ya.O., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Production of metal and dielectric films in a combined RF and arc discharge
von: Gasilin, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Application of driven plasma cathode in RF electron gun
von: Khodak, I.V., et al.
Veröffentlicht: (2004)

THE CAPACITIVE STORAGE DEVICE IN THE CIRCUIT OF SYNCHRONOUS MOTOR EXCITATION FOR THE FIELD FORCING AND DISCHARGE
von: Slobodeniuk, D. V., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Low frequency oscillations in U-2M conditioning RF discharges
von: Dreval, M.B., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Self-consistent model of the RF plasma production in stellarator
von: Moiseenko, V.Е., et al.
Veröffentlicht: (2010)

RF field pattern in the plasma cylinder of finite length for various antennas
von: Grekov, D.L., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Influence of the capacitance of the capacitor of the discharge circuit of semiconductor electric discharge installations on their output currents of limited duration
von: A. A. Shcherba, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Mathematical modeling of gas flow in plasma torch vortex chamber
von: Butyrev, A.E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Optimization of self-consistent code for modelling of RF plasma production
von: Moiseenko, V.Е., et al.
Veröffentlicht: (2015)

RF power supply system for ion technology accelerator
von: Vdovin, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Coordination of parameters of the power source and the working chamber for water treatment with pulse barrier discharge
von: V. O. Bereka, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Simulation of the plasma jet with a dispersed phase in an axisymmetric chamber
von: Kravchenko, O.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Synthesis of electrical circuits with capacitive energy storages in semiconductor formers of power discharge pulses
von: A. A. Shcherba, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Formation of bipolar pulse currents in the load of capacitive energy storages of electric discharge installations
von: A. A. Shcherba, et al.
Veröffentlicht: (2022)