Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2006
Hauptverfasser: A. V. Voznyj, Dzh. Ju. Jam, Ju. Kropotov, V. I. Farenik
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2006
Schriftenreihe:Physical surface engineering
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855337
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Institution

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Ähnliche Einträge