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Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	A. V. Voznyj, Dzh. Ju. Jam, Ju. Kropotov, V. I. Farenik
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2006
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855337
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