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Plasma potential influence on ion energy istribution function in icp source

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
Hauptverfasser:	O. V. Vozniy, G. Y. Yeom, Yu. Kropotov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2007
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858403
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