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Rf potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2005
Hauptverfasser:	V. Lisovskij, Zh.-P. But, K. Landri, D. Due, G. Renar, V. Kasan
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2005
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859333
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