Зображення обкладинки

Research and development of technological systems based on high-frequency induction discharge for reactive ion-plasma etching of micro- and nanostructures

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автор:	S. V. Dudin
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2009
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000872969
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching
за авторством: V. I. Farenik
Опубліковано: (2004)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Ion-plasma system for reactive magnetron deposition
за авторством: S. D. Yakovin, та інші
Опубліковано: (2014)

Radio frequency plasma reactive engine
за авторством: Zajtzev, B.V., та інші
Опубліковано: (2000)

Plasma etching of gallium nitride based heterostructures in production of optoelectronic devices
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2006)

Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2006)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Development of deep silicon plasma etching for 3D integration technology
за авторством: A. A. Golishnikov, та інші
Опубліковано: (2014)

Low-temperature ion-plasma deposition technology of nanostructured films of aluminum and boron nitrides
за авторством: M. S. Zaiats, та інші
Опубліковано: (2021)

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2014)

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: I. V. Gorbov, та інші
Опубліковано: (2014)

Deposition of nanocrystalline silicon films into low frequency induction RF discharge
за авторством: Deryzemlia, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)

Spatial energy channelling and stochastization of fast ion motion by high-frequency plasma instabilities
за авторством: Tyshchenko, M.H., та інші
Опубліковано: (2015)

Obtaining porous silicon suitable for sensor technology using MacEtch nonelectrolytic etching
за авторством: I. R. Jatsunskij
Опубліковано: (2013)

Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2021)

Corona discharge influence on micro-organisms
за авторством: Scholtz, V.
Опубліковано: (2005)

Synthesis of nanocarbon by high-frequency pulse discharge method
за авторством: L. Z. Boguslavskij, та інші
Опубліковано: (2012)

Langmuir probe in ion-beam plasma: theory VS experiment
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2012)

Ion–plasma deposition of the nanostructured multicom-ponent coatings on thermolabile materials
за авторством: L. S. Osipov, та інші
Опубліковано: (2014)

Electrothermal energy saving unit for high-frequency induction heating
за авторством: A. K. Shydlovskyi, та інші
Опубліковано: (2015)

Comparative analysis of the refraction of microwaves at different frequencies in an inhomogeneous plasma of a high power impulse reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2018)

REACTIVE POWER CONTROL IN MICRO-GRID NETWORKS USING ADAPTIVE CONTROL
за авторством: Moghayadniya, A., та інші
Опубліковано: (2019)

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Langmuir probe in ion-beam plasma: theory VS experiment
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2012)

Microwave high-resolution scanning heating in the technology of micro- and nanoelectronics
за авторством: Ju. E. Gordienko, та інші
Опубліковано: (2015)

The induction and reactivation of diapause insects (practical and theoretical aspects)
за авторством: O. E. Strashko, та інші
Опубліковано: (1996)

Plasma technologies for manufacturing of micro-strip metal detectors of ionizing radiation
за авторством: Pugatch, V.M., та інші
Опубліковано: (2007)

Emission Characteristics of Nitrogen-Doped Nanostructure Diamond Coating Synthesized in Glow Discharge Plasma
за авторством: S. F. Dudnik, та інші
Опубліковано: (2015)

Series resonant inverters with modular structure for high-frequency induction heating
за авторством: Ya. Hutsaliuk
Опубліковано: (2022)

IMITATION MODEL OF A HIGH-SPEED INDUCTION MOTOR WITH FREQUENCY CONTROL
за авторством: Pliugin, V. E., та інші
Опубліковано: (2017)

Imitation model of a high-speed induction motor with frequency control
за авторством: Pliugin, V., та інші
Опубліковано: (2017)

Impedance disturbance of the inductive coil interacting with low density plasma
за авторством: D. V. Rafalskij, та інші
Опубліковано: (2008)

Influence of ion viscosity on the distributions of plasma parameters in stationary gas discharge
за авторством: Ya. F. Leleko, та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of ion viscosity on the distributions of plasma parameters in stationary gas discharge
за авторством: Ya. F. Leleko, та інші
Опубліковано: (2021)

Analysis of characteristics of two-frequency (three-frequency) antennas with reactive loads
за авторством: V. V. Ovsjanikov
Опубліковано: (2017)

Micro- and nanostructuring of metal surfaces with polarized femtosecond laser pulses
за авторством: N. G. Zubrilin, та інші
Опубліковано: (2017)

Micro- and nanostructuring of metal surfaces with polarized femtosecond laser pulses
за авторством: Zubrilin, N.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of energy balance in the system of the crystal‒high-frequency heating module at plasma-induction growing of refractory metal single-crystals
за авторством: V. O. Shapovalov, та інші
Опубліковано: (2022)

Comparative analysis of different plasma sources for reactive deposition of coatings and diffusion saturation of metals
за авторством: A. V. Sagalovich, та інші
Опубліковано: (2014)