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Development of technology for obtaining nano-sized heterostructured films by ion-plasma deposition

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2023
Hauptverfasser:	M. T. Normuradov, Sh. T. Khozhiev, K. T. Dovranov, X. T. Davranov, M. A. Davlatov, F. K. Khollokov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2023
Schriftenreihe:	Ukrainian journal of physics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001414168
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