Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2020
Автори: B. V. Bilanych, O. Shylenko, V. M. Latyshev, A. Feher, V. S. Bilanych, V. M. Rizak, V. Komanicky
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2020
Назва видання:Ukrainian Journal of Physics
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001127980
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS