Investigation of SiC films obtained on a porous-Si/Si substrate

Investigation of SiC films obtained on a porous-Si/Si substrate

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2024
Hauptverfasser:	V. V. Kidalov, A. F. Dyadenchuk, A. G. Zhuk, O. Y. Gudimenko, S. V. Simchenko
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2024
Schriftenreihe:	Chemistry, physics and technology of surface
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001504130
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