Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering

Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2019
Автори:	A. I. Kuzmichev, A. I. Ustinov, A. E. Rudenko, I. M. Drozd
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2019
Назва видання:	Electrometallurgy Today
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001079866
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Comparison of optical properties of TiO₂ thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques
за авторством: Brus, V.V., та інші
Опубліковано: (2011)

Comparison of optical properties of TiO2 thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques
за авторством: V. V. Brus, та інші
Опубліковано: (2011)

Formation of Stationary Surface Structures During Ion Beam Sputtering
за авторством: I. O. Lysenko, та інші
Опубліковано: (2013)

Sputtering of tungsten exposed to high-flux and high-fluence hydrogen ion beam
за авторством: Bizyukov, I.A.
Опубліковано: (2013)

Structure and fluorescence of ZnWO₄ films prepared by ion beam sputtering
за авторством: Dubovik, A., та інші
Опубліковано: (2012)

Redistribution of sputtered material in a plane ion-plasma system with an abnormal glow discharge
за авторством: Kuzmichev, A.I., та інші
Опубліковано: (2020)

Formation of Al2O3–Co nanocomposites by vacuum electron beam evaporation
за авторством: Ja. A. Stelmakh, та інші
Опубліковано: (2014)

Composite nanomaterial of Al2O3—Ag system produced using electron beam evaporation in vacuum
за авторством: Ja. A. Stelmakh, та інші
Опубліковано: (2013)

Morphology change of the silicon surface induced by Ar+ ion beam sputtering
за авторством: Kharchenko, V.O., та інші
Опубліковано: (2011)

Evaporation of micro-droplets in cathode arc plasma coating under formed electron beam
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2022)

Electron beam evaporation of iron and condensation of its reflected vapor flow
за авторством: G. G. Didikin, та інші
Опубліковано: (2019)

Adhesion of thick carbon films, produced by electron beam evaporation of carbo
за авторством: Ju. A. Kurapov, та інші
Опубліковано: (2015)

The phenomenon of magnetic exchange bias in ferromagnetic nanocomposites grown by electron beam evaporation
за авторством: M. V. Radchenko, та інші
Опубліковано: (2018)

Excitation of lf ion oscillations in the systems with relativistic electron beam
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Revealing the morphological peculiarities of Y₃Al₅O₁₂:Nd laser ceramics by ion beam sputtering
за авторством: Vovk, O.M., та інші
Опубліковано: (2013)

The influence of substrate temperature on properties of Cu-Al-O films deposited using the reactive ion beam sputtering method
за авторством: A. I. Ievtushenko, та інші
Опубліковано: (2017)

Structure and some properties of sodium chloride condensates produced by electron beam evaporation with next deposition in vacuum
за авторством: I. S. Kovinskij, та інші
Опубліковано: (2011)

Structural and morphological properties of nanometer carbon films obtained by electron beam sputtering of graphite
за авторством: V. O. Yukhymchuk, та інші
Опубліковано: (2023)

Influence of helium ions beams with energies 0.12 MeV on sputtering process on surface of tungsten
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2023)

Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Features of the structure and physico-chemical properties of copper produced by the method of electron beam evaporation and condensation in vacuum
за авторством: V. H. Hrechaniuk, та інші
Опубліковано: (2023)

Morphology of surface and fine structure of thick carbon films, produced by electron beam evaporation of carbon
за авторством: Ju. A. Kurapov, та інші
Опубліковано: (2017)

Relativistic electron beam pinching in plasma and cumulation of ions
за авторством: Fainberg, Ya.B., та інші
Опубліковано: (2005)

Structure and some properties of sodium chloride condensates produced by electron beam evaporation with next deposition in vacuum
за авторством: Ju. A. Nikitenko
Опубліковано: (2011)

Simulation of the compensation of a high-current ion beam by an electron beam in a cusp magnetic system
за авторством: Onishchenko, I.N., та інші
Опубліковано: (2021)

Structure and mechanical properties of composite materials Cu-NbC, obtained by electron beam evaporation-condensation
за авторством: V. G. Grechanjuk, та інші
Опубліковано: (2011)

Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system
за авторством: Zykov, A., та інші
Опубліковано: (2020)

Characterization of MOS structure using low-k dielectric methylsilsesquioxane with evaporated and sputtered aluminium gate
за авторством: Aw, K.C., та інші
Опубліковано: (2002)

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Morphology and optical properties of α-Si:Y films, obtained by electron-beam evaporation method
за авторством: Semikina, T.V.
Опубліковано: (2005)

Mathematical simulation of the processes of evaporation in melting ingots of multicomponent titanium alloys in electron beam cold hearth installations
за авторством: S. V. Akhonin, та інші
Опубліковано: (2013)

System of control of beam scanning in electron beam welding
за авторством: Ju. N. Lankin, та інші
Опубліковано: (2009)

Electron beam formation and its effect in novel plasma-optical device for evaporation of micro-droplets in cathode arc plasma coating
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2016)

Low-frequency processes at interaction of ion flows with relativistic electron beams
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Amplification and excitation of microwaves by an electron beam in a disk-loaded coaxial hybrid waveguide
за авторством: Antipov, V.S., та інші
Опубліковано: (2005)

The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60
за авторством: M. V. Maleev, та інші
Опубліковано: (2015)

Effect of condensation conditions on structure and properties of hard coatings on B4C base, produced by electron beam evaporation in vacuum
за авторством: Ju. Jakovchuk, та інші
Опубліковано: (2012)