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Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2019
Hauptverfasser:	A. A. Onoprienko, V. I. Ivashchenko, A. O. Kozak, A. K. Sinelnichenko, T. V. Tomila
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2019
Schriftenreihe:	Superhard Materials
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001294418
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