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Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2018
1. Verfasser:	Ju. D. Filatov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2018
Schriftenreihe:	Superhard Materials
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000940299
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