Зображення обкладинки

Study of the state of the working surface of the tool at polishing the substrate from nitride aluminum

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2018
Автори:	Yu. D. Filatov, V. I. Sydorko, S. V. Kovalov, V. A. Kovalov, Ya. Yurchyshyn, M. A. Danylchenko, A. H. Vietrov
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2018
Назва видання:	Tooling materials science
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001084537
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Influence of rheological properties of the disperse system on polishing indicators substrate from sitall
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2019)

Influence of inter-molecular interaction of particles of polishing powder with the processed material on indicators of polishing of optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2021)

Education of sludge particles and wear particles polishing powder in the polishing process nitride aluminum
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2017)

Roughness of polished surfaces of optoelectronic elements made of polymeric optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2023)

Influence of parameters of structure of the processed material on polishing indicators optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of spectroscopic parameters of the processed material and polishing powder for polishing of optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Influence of dielectric characteristics of the processed material, polishing powder and dispersed system on the energy of their interaction during polishing of optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Polishing of AlN/sapphire substrates obtained by thermochemical nitridation of sapphire
за авторством: Vovk, E.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Transfer energy during the interaction of the optical surface with the polishing dispersion system
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Interaction of sludge particles and wear particles of polishing powder during polishing of polymeric optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2023)

Effect of rheological properties of dispersed system on polishing indicators of optical glass and glassceramics
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2021)

Material removal rate in polishing of polymer optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Polishing substrates of single crystal silicon carbide and sapphire for optoelectronics
за авторством: Filatov, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

Improving efficiency of finishing natural stone using diamond–polymer fiber tools
за авторством: V. D. Kurilovych, та інші
Опубліковано: (2014)

Structural studies of zinc oxide and aluminum nitride films obtained by CVD and magnetron sputtering methods
за авторством: A. D. Pogrebnjak, та інші
Опубліковано: (2012)

The effect of high pressures and high temperatures on the properties of aluminum nitride
за авторством: V. S. Urbanovich, та інші
Опубліковано: (2015)

On the mechanism of formation of the granular structure and interfaces in self-reinforced aluminum nitride
за авторством: H. S. Olieinyk, та інші
Опубліковано: (2021)

On the prospects of using porous indium phosphide as substrates for indium nitride films
за авторством: Ja. A. Sychikova
Опубліковано: (2010)

Formation and localization of deposit from wear of polishing powder nanoparticles on treated surface during polishing of polymer optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2024)

Crystal lattice engineering the novel substrates for III-nitride-oxide heterostructures
за авторством: V. Osinsky, та інші
Опубліковано: (2010)

Crystal lattice engineering the novel substrates for III-nitride-oxide heterostructures
за авторством: Osinsky, V., та інші
Опубліковано: (2010)

Structure of aluminum nitride layers formed under ion-plasma spraying
за авторством: Z. A. Duriahina, та інші
Опубліковано: (2013)

Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy
за авторством: M. A. Tsysar
Опубліковано: (2013)

Lowering the density of dislocations in heteroepitaxial III-nitride layers: Effect of sapphire substrate treatment (review)
за авторством: P. V. Parphenyuk, та інші
Опубліковано: (2016)

Lowering the density of dislocations in heteroepitaxial III-nitride layers: Effect of sapphire substrate treatment (review)
за авторством: Parphenyuk, P.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Surface roughness of optoelectronic components in mechanical polishing
за авторством: Ju. D. Filatov
Опубліковано: (2018)

Determination of surface grafene-boron nitride
за авторством: V. A. Petrova, та інші
Опубліковано: (2015)

The results of experiments on studying the working process of the multi-use of heat-machine - hydraulic mill
за авторством: S. F. Kovalov, та інші
Опубліковано: (2013)

Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials
за авторством: Ju. Filatov, та інші
Опубліковано: (2016)

Microwave energy attenuators on the basis of aluminum nitride with high level of microwave energy absorption
за авторством: V. I. Chasnyk
Опубліковано: (2014)

Low-temperature ion-plasma deposition technology of nanostructured films of aluminum and boron nitrides
за авторством: M. S. Zaiats, та інші
Опубліковано: (2021)

XRD studies of surface layers in sapphire substrates of <101Bar2> crystalloghaphic orientation
за авторством: Tkachenko, V.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2017)

Use of high-thermal conductive aluminum nitride based ceramics in vacuum UHF electronic devices
за авторством: V. I. Chasnyk
Опубліковано: (2013)

The polaron state of surface electrons over helium covering structured substrate
за авторством: A. V. Smorodin, та інші
Опубліковано: (2013)

New regularities of polishing surfaces of parts made of non-metallic materials
за авторством: Yu. D. Filatov
Опубліковано: (2023)

Transport properties of surface electrons over structurized substrate
за авторством: A. V. Smorodin, та інші
Опубліковано: (2012)

Ion-plasma nitriding of inner cylindrical surfaces of products
за авторством: I. V. Smyrnov, та інші
Опубліковано: (2022)

Electrical resistivity of pressureless sintered aluminum nitride based composite with addition of nanosized silicon carbide
за авторством: I. P. Fesenko, та інші
Опубліковано: (2017)

In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2017)