Theoretical evaluation of the temperature field distribution in the silicon periodic nanostructures during thermal annealing

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2017
Автори: O. O. Havryliuk, Yu. Semchuk
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2017
Назва видання:Chemistry, physics and technology of surface
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000687484
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозиторії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS