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Theoretical evaluation of the temperature field distribution in the silicon periodic nanostructures during thermal annealing

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2017
Hauptverfasser:	O. O. Havryliuk, Yu. Semchuk
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Chemistry, physics and technology of surface
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000687484
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