Buchumschlag

The influence of substrate temperature on properties of Cu-Al-O films deposited using the reactive ion beam sputtering method

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2017
Hauptverfasser:	A. I. Ievtushenko, M. G. Dusheyko, V. A. Karpyna, O. I. Bykov, P. M. Lytvyn, O. I. Olifan, V. A. Levchenko, A. A. Korchovyi, S. P. Starik, S. V. Tkach, E. F. Kuzmenko, G. V. Lashkarev
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000778507
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Ähnliche Einträge

Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
von: A. Sagalovych, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
von: Sagalovych, A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
von: S. V. Dudin, et al.
Veröffentlicht: (2005)

The Effect of Ag-Doping on the Cytotoxicity of ZnO Nanostructures Grown on Ag/Si Substrates by APMOCVD
von: K. S. Naumenko, et al.
Veröffentlicht: (2022)

Structure and Photocatalytic Properties of Titania Nanofilms Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
von: A. A. Goncharov, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Comparison of optical properties of TiO₂ thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques
von: Brus, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Structural and morphological properties of nanometer carbon films obtained by electron beam sputtering of graphite
von: V. O. Yukhymchuk, et al.
Veröffentlicht: (2023)

Comparison of optical properties of TiO2 thin films prepared by reactive magnetron sputtering and electron-beam evaporation techniques
von: V. V. Brus, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
von: Zayats, M.S., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering
von: A. I. Kuzmichev, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Effect of electron-beam treatment of sensor glass substrates for SPR devices on their metrological characteristics
von: V. A. Vashchenko, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
von: N. A. Vasilenko, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Formation of Stationary Surface Structures During Ion Beam Sputtering
von: I. O. Lysenko, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Wave equation solution for multilayer planar waveguides in a spatial frequency domain
von: A. I. Ievtushenko, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Low-Temperature Synthesis and Structure of Hybrid Ni@C Nanomaterials Fabricated by Method of Reactive Magnetron Sputtering
von: M. I. Mokhnenko, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
von: Василенко, Наталья Афанасьевна, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods
von: Василенко, Наталья Афанасьевна, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Effect of argon deposition pressure on the properties of aluminum-doped ZnO films deposited layer-by-layer using magnetron sputtering
von: V. I. Popovych, et al.
Veröffentlicht: (2016)

Effect of electron irradiation on transparent conductive films ZnO:Al deposited at different power sputtering
von: D. V. Myroniuk, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Structural and optical properties of Zn1-xCoxO thin films prepared by RF reactive sputtering technique
von: A. I. Savchuk, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target
von: A. A. Onoprienko, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Reactive ion-beam synthesis of thin films directly from ion biam
von: K. A. Valiev, et al.
Veröffentlicht: (2003)

Effect of nitrogen partial pressure on reactive magnetron sputtering from Ti13Cu87 metalloid target: simulation of chemical composition
von: A. Rahmati, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Effect of nitrogen partial pressure on reactive magnetron sputtering from Ti13Cu87 metalloid target: simulation of chemical composition
von: A. Rahmati, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Structure and properties of the coatings of the Al–B–Si–C system deposited by magnetron sputtering
von: A. O. Kozak, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Structure and magnetic state of films deposited by laser sputtering of nickel
von: Bagmut, A.G., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Effect of argon deposition pressure on the properties of aluminum-doped ZnO films deposited layer-by-layer using magnetron sputtering
von: V. I. Popovych, et al.
Veröffentlicht: (2016)

Optical and structural studies of phase transformations and composition fluctuations at annealing of Zn1-xCdxO films grown by dc magnetron sputtering
von: O. Kolomys, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Influence of nitrogen on the microstructure, hardness and tribological properties of Cr–Ni–B–C–N films deposited by DC magnetron sputtering
von: O. O. Onopriienko, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma
von: Tolstolutskaya, G.D., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
von: Azarenkov, N.A., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Specular and diffusive reflectance of stainless steel mirrors sputtered with Ar⁺ ions
von: Konovalov, V.G., et al.
Veröffentlicht: (2012)

The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron
von: Panchenko, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Deuterium trapping and sputtering of tungsten coatings exposed to low-energy deuterium plasma
von: Tolstolutskaya, G.D., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Formation of antibacterial coatings on chitosan matrices by magnetron sputtering
von: O. V. Kalinkevich, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Vacuum arc sputtering of subsrate surface by chrome and molybdenum ions
von: V. A. Stolbovoj
Veröffentlicht: (2009)

Redistribution of sputtered material in a plane ion-plasma system with an abnormal glow discharge
von: Kuzmichev, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Reactive oxygen species in signal transduction
von: L. B. Drobot, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material
von: Yu. V. Kovtun, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material
von: Yu. V. Kovtun, et al.
Veröffentlicht: (2012)