Simulation study on airflow field uniformity of HFCVD deposition system by filament spacing

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2021
Автори: F. Deng, C. Hao, Zh. Guo, Sh. Wang, X. Bo, Q. Lei
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2021
Назва видання:Superhard Materials
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001235610
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозиторії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS