Deng, F., Hao, C., Guo, Z., Wang, S., Bo, X., & Lei, Q. (2021). Simulation study on airflow field uniformity of HFCVD deposition system by filament spacing.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Deng, F., C. Hao, Zh Guo, Sh Wang, X. Bo, und Q. Lei. Simulation Study on Airflow Field Uniformity of HFCVD Deposition System by Filament Spacing. 2021.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Deng, F., et al. Simulation Study on Airflow Field Uniformity of HFCVD Deposition System by Filament Spacing. 2021.
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