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Automated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2016
Hauptverfasser:	G. S. Pekar, A. A. Singaevsky, A. F. Singaevsky
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2016
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000714528
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