Influence of the surface roughness and oxide surface layer onto Si optical constants measured by the ellipsometry technique

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2015
Автори: T. S. Rozouvan, L. V. Poperenko, I. A. Shaykevich
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2015
Назва видання:Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000353228
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозиторії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS