Physical Mechanisms of SiO2 Target Sputtering with Accelerated Ions of C60

Physical Mechanisms of SiO2 Target Sputtering with Accelerated Ions of C60

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	M. V. Maleev, E. N. Zubarev, V. E. Pukha, A. N. Drozdov, A. S. Vus
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2015
Назва видання:	Metallophysics and advanced technologies
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000551437
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60
за авторством: M. V. Maleev, та інші
Опубліковано: (2015)

Features of the interaction of accelerated C60 ions with the ITO target surface
за авторством: M. V. Maleev, та інші
Опубліковано: (2015)

Structural properties of nanocomposite SiO₂(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
за авторством: Bratus, O.L., та інші
Опубліковано: (2011)

Structural properties of nanocomposite SiO2(Si) films obtained by ion-plasma sputtering and thermal annealing
за авторством: O. L. Bratus, та інші
Опубліковано: (2011)

Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B₄C target
за авторством: Onoprienko, A.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2019)

Structure changes in C₆₀-Bi composite films irradiated by accelerated electron beam
за авторством: Vus, A.S., та інші
Опубліковано: (2005)

Interface features of SiO₂/SiC heterostructures according to methods for producing the SiO₂ thin films
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Heavy-ion and fixed-target physics in LHCb
за авторством: V. Pugatch
Опубліковано: (2019)

Heavy-ion and fixed-target physics in LHCb
за авторством: V. Pugatch
Опубліковано: (2019)

Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si
за авторством: V. A. Sevrjukova, та інші
Опубліковано: (2011)

Beam and target parameters measurement system on helium ions linear accelerator
за авторством: Anokhin, R.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Interface features of SiO2/SiC heterostructures according to methods for producing the SiO2 thin films
за авторством: Yu. Yu. Bacherikov, та інші
Опубліковано: (2012)

Effect of microwave radiation on optical transmission spectra in SiO₂/SiC structures
за авторством: Bacherikov, Yu.Yu., та інші
Опубліковано: (2002)

Application of the Judd-Ofelt theory to Pr³⁺ ions in Y₂SiO₅ crystals
за авторством: Zhmurin, P.N.
Опубліковано: (2007)

Impurity concentration influence on the correlation of the x-ray lines intensity in metal-fullerene crystals
за авторством: A. N. Drozdov, та інші
Опубліковано: (2009)

Stydy on resistivity and micostructure of magnetron sputtered α-C:Si films
за авторством: Onoprienko, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)

Investigations on nuclear physics with accelerated beams of polarized ions at the NSC KIPT
за авторством: Slabospitsky, R.P., та інші
Опубліковано: (2003)

Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B₄C target
за авторством: Onoprienko, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Crystal field parameter calculations for doped Pr³⁺ ion in Y₂SiO₅ crystal
за авторством: Zhmurin, P.N., та інші
Опубліковано: (2005)

The structure and nanoindentation of C₆₀ films
за авторством: Pukha, V.E., та інші
Опубліковано: (2007)

Electrical properties of carbon-inorganic nanocomposites C/MXOY/SiO2
за авторством: S. N. Makhno, та інші
Опубліковано: (2012)

The structure and properties of single- and two-component electrically conducting films formed from transformed ion-plasma flows transformed by interaction with a conducting target
за авторством: A. S. Vus
Опубліковано: (2009)

Ion acceleration in scanning wake-fied accelerator
за авторством: Latsko, E.M.
Опубліковано: (2003)

Electron states at the Si–SiO₂ boundary (Review)
за авторством: Primachenko, V.E., та інші
Опубліковано: (2005)

Hybrid systems for electron beam evaporation and ion sputtering
за авторством: A. I. Kuzmichev, та інші
Опубліковано: (2019)

Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B4C target
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2015)

Properties of SiO₂-GaAs and Au-Ti-SiO₂-GaAs structures used in production of transmission lines
за авторством: Boltovets, N.S., та інші
Опубліковано: (2002)

Селективная спектроскопия примесных ионов Pr³⁺ в кристаллах Y₂SiO₅ , Gd₂SiO₅ , Lu₂SiO₅
за авторством: Малюкин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Микроскопическая природа оптических центров Pr³⁺ в кристаллах Y₂SiO₅, Lu₂SiO₅, Gd₂SiO₅
за авторством: Малюкин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Structure and properties of the coatings of the Al–B–Si–C system deposited by magnetron sputtering
за авторством: A. O. Kozak, та інші
Опубліковано: (2020)

Ion-beam mixing in layered systems
за авторством: E. N. Zubarev
Опубліковано: (2010)

Conductivity of the Bi₁₂SiO₂₀ thin ﬁlms
за авторством: Plyaka, S.N., та інші
Опубліковано: (1999)

Effect of low-temperature treatments on photoluminescence enhancement of ion-beam synthesized Si nanocrystals in SiO₂ matrix
за авторством: Khatsevich, I., та інші
Опубліковано: (2008)

Design of the target for ⁹⁹Mo prodaction in the electron linear accelerator
за авторством: Pugachev, G.D., та інші
Опубліковано: (1999)

Проявление квазисимметрии катионных узлов Gd₂SiO₅, ₂SiO₅ и Lu₂SiO₅ в спектрах примесного иона Pr³⁺
за авторством: Малюкин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Bactericidal polymeric composites based on poly(vinyl butyral) and silver ions containing organically modified SiO2
за авторством: A. L. Tolstov, та інші
Опубліковано: (2016)