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Physical Mechanisms of SiO2 Target Sputtering with Accelerated Ions of C60

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	M. V. Maleev, E. N. Zubarev, V. E. Pukha, A. N. Drozdov, A. S. Vus
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Metallophysics and advanced technologies
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000551437
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