Stationary regimes of low pressure magnetron discharge

Stationary regimes of low pressure magnetron discharge

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	A. V. Zykov, S. V. Dudin, S. D. Jakovin
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2015
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059755
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system
за авторством: Zykov, A., та інші
Опубліковано: (2020)

Plasma assisted conversion of carbon dioxide in low-pressure gas discharges
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Spatial particles streams distribution in stationary arc discharge of low pressure
за авторством: V. M. Khoroshikh, та інші
Опубліковано: (2004)

Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003)

Synthesis of dielectric compounds based on a DC magnetron
за авторством: O. V. Zykov, та інші
Опубліковано: (2009)

Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2016)

Dissociative mode in low-pressure RF discharge
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)

Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2021)

Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2020)

Transport processes in the low pressure gas discharge plasma
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Ion-plasma system for reactive magnetron deposition
за авторством: S. D. Yakovin, та інші
Опубліковано: (2014)

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2007)

Nitriding of the steels in gas arc low pressure discharge
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)

Non-Stationary Theory of Space-Harmonic Magnetrons with Cold Cathode
за авторством: Vavriv, D. M., та інші
Опубліковано: (2013)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Obstructed DC glow discharge in low-pressure nitrogen
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2010)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings and stainless steel under the influence of stationary plasma discharges of a magnetron type
за авторством: G. P. Glazunov, та інші
Опубліковано: (2011)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Burning modes of dc low pressure discharge with a transverse constriction
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Low pressure discharge induced by microwaves with stochastically jumping phase
за авторством: Karas’, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)

Hollow cathode discharge in low pressure oxygen: transient mode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Superradiant emission regimes of the system of stationary oscillators
за авторством: Kuklin, V.M., та інші
Опубліковано: (2017)

Digital identification of the emission spectrum lines of magnetron discharge
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Current cathode spots in the glow discharge normal regime as a stationary dissipative structure: macroscopic parameters
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2013)

Modification of nonroach for the discharge sustained by surface waves in the range of the low pressure
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Kinetic processes in negative glow plasma of low pressure discharge in oxygen
за авторством: Tsiolko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Dissipative generation regime of a system of stationary oscillators
за авторством: Kuklin, V.M., та інші
Опубліковано: (2017)

Low pressure discharge initiated by microwave radiation with stochastically jumping phase
за авторством: Karas’, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)

The effect of nitrogen pressure during vacuum-arc TiN coatings deposition on the erosoin resistance in plasma of magnetron type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2014)

Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Сharging processes and phase states of macroparticles in low-pressure arc discharge
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
за авторством: Olshansky, V.V.
Опубліковано: (2012)