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Stationary regimes of low pressure magnetron discharge

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	A. V. Zykov, S. V. Dudin, S. D. Jakovin
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001059755
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