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High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	I. V. Gorbov, A. A. Kryuchyn, K. P. Grytsenko, Yu. Manko, Yu. O. Borodin
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000352573
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