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Ionization annealing of semiconductor crystals. Part one: theoretical background

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	A. S. Garkavenko, V. A. Mokritskij, O. V. Banzak, V. A. Zavadskij
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405270
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