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Synthesis and study of silicate sol–gel coatings for micro- and nanoelectronics

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	V. V. Vaskevich, V. E. Gajshun, D. L. Kovalenko
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476016
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