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Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	O. I. Vjunov, L. L. Kovalenko, A. G. Belous, O. Bohnke, C. Bohnke
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000476018
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Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

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