About ultrasound-stimulated a self-organization of defect structures in semiconductors during ion implantation

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2013
1. Verfasser: Ya. M. Olikh
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2013
Schriftenreihe:Optoelectronics and Semiconductor Technique
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363128
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