Pilipenko, V. A., Gorushko, V. A., Petlitskij, A. N., Ponarjadov, V. V., Turtsevich, A. S., & Shvedov, S. V. (2013). Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Pilipenko, V. A., V. A. Gorushko, A. N. Petlitskij, V. V. Ponarjadov, A. S. Turtsevich, та S. V. Shvedov. Methods and Mechanisms of Gettering of Silicon Structures in the Production of Integrated Circuits. 2013.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Pilipenko, V. A., et al. Methods and Mechanisms of Gettering of Silicon Structures in the Production of Integrated Circuits. 2013.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.