Buchumschlag

Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko, A. N. Petlitskij, V. V. Ponarjadov, A. S. Turtsevich, S. V. Shvedov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2013
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405014
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Ähnliche Einträge

Investigations of impurity gettering in multicrystalline silicon
von: Evtukh, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Increase of planar homogeneity of multi-silicon structures by gettering treatments
von: Litovchenko, V.G., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
von: A. Misiuk, et al.
Veröffentlicht: (2010)

Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
von: I. M. Vikulin, et al.
Veröffentlicht: (2018)

Two-channel gettering of recombination-active impurity in polycrystalline solar silicon
von: V. G. Litovchenko, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Two-channel gettering of recombination-active impurity in polycrystalline solar silicon
von: V. H. Lytovchenko, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
von: A. Sarikov, et al.
Veröffentlicht: (2012)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
von: Pilipenko, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Effect of getter additions on hydrogen- induced embrittlement of welded joints on structural materials of NPP equipment
von: V. M. Azhazha, et al.
Veröffentlicht: (2010)

Influence of plasma treatment on erosion haracteristics and structure of reversible hydrogen getters
von: Borisko, V.N., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation
von: V. N. Litvinenko, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
von: Belous, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

On features of deoxidization of CsI melt with zirconium getter
von: Datsko, Yu.N., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Improvement of the reverse characteristics of Schottky diodes using gettering
von: Litvinenko, V.N., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Improvement of the reverse characteristics of Schottky diodes using gettering
von: V. N. Litvinenko, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Improving parameters of planar pulse diode using gettering
von: V. M. Lytvynenko, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Influence of modifying method and silicon content on ductile cast iron structure and mechanical properties
von: A. A. Jasinskij, et al.
Veröffentlicht: (2015)

Mechanical strain in the structure of array of silicon nanowires grown on a silicon substrate
von: A. I. Klimovskaya, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Mechanical strain in the structure of an array of silicon nanowires grown on a silicon substrate
von: Klimovskaya, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Joint using methods of structural decomposition for optimizing circuit of Moore FSM
von: A. A. Barkalov, et al.
Veröffentlicht: (2021)

The formation of isolating and gettering layers in semiconductors with use of medium energy proton implantation
von: F. F. Komarov, et al.
Veröffentlicht: (2008)

Search for the optimal size of printed circuit boards for mechanical structures for electronic equipment
von: A. A. Efimenko, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Integral models in the problems of analysis of electrical circuits
von: A. F. Verlan, et al.
Veröffentlicht: (2016)

Fuzzy neural network for integrated circuit layout analysis
von: A. A. Dudkin
Veröffentlicht: (2015)

Influence of Zr-Fe getter filter on Cd and Zn deep refining of interstitial impurities
von: Kondrik, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Assessment of the ecological safety of the enterprises in the production of circuit boards and electroplating
von: A. A. Nester
Veröffentlicht: (2017)

Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon
von: V. B. Neimash, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Current transport mechanisms in metal - high-k dielectric - silicon structures
von: Y. V. Gomeniuk
Veröffentlicht: (2012)

Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon
von: V. B. Neimash, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Growing the epitaxial undoped and N-doped ZnO films by radical beam gettering epitaxy
von: Rogozin, I.V.
Veröffentlicht: (2006)

Refining of Cd and Zn from interstitial impurities using distillation with a ZrFe getter filter
von: A. I. Kondrik, et al.
Veröffentlicht: (2013)

Model-driven development of digital system algorithms on programmable logic integrated circuits
von: O. O. Letychevskyi, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Analysis of features of recombination mechanisms in silicon solar cells
von: R. M. Korkishko, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Analysis of features of recombination mechanisms in silicon solar cells
von: Korkishko, R.M., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Automation of digital filter circuit structural transformations
von: V. S. Sitnikov, et al.
Veröffentlicht: (2002)

Study of desorption process from the Zr (62) – Ni (38 wt.%) non-evaporable getter
von: Aksyonova, G.N., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Detonation coatings of ferromolybdenum-silicon carbide composite powder produced by the method of mechanical-chemical synthesis
von: Ju. S. Borisov, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Block of an electron gun combined with a getter - ion pump designed for high - power beam - plasma microwave devices
von: Antonov, A.N., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Monitoring improvement of technical condition of high-voltage circuit breaker mechanical elements
von: A. V. Panov, et al.
Veröffentlicht: (2018)

Integration mechanisms of development of Ukrainian market of bread and bakery products
von: O. V. Nikishyna, et al.
Veröffentlicht: (2018)