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Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
Hauptverfasser:	N. A. Vasilenko, A. O. Vasilenko
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2013
Schriftenreihe:	Journal of mechanical engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000450102
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