Studies of topological features of the surface relief formation of titanium nitride films on silicon substrates during the diffusion mass transfer and on annealing using scanning tunneling microscopy
Gespeichert in:
| Datum: | 2013 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2013
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| Schriftenreihe: | Superhard Materials |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000695825 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |