Study of probe methods for fabrication of units for nanoelectronic devices and diagnostic technique using electrostatic force microscopy

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: N. I. Khodakovskij, Ju. Larkin, G. G. Galstjan
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2011
Назва видання:Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000473640
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозиторії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS