Дослiдження методами ядерного мiкроаналiзу поверхневих наношарiв структури золото–кремнiй

• Main Authors: Soroka, V. I., Lebed, S. O., Tolmachov, M. G., Kukharenko, O. G., Veselov, O. O.
• Format: Article
• Language: English; Ukrainian
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2018
• Subjects: ядерний мiкроаналiз; резерфордiвське зворотне розсiяння; iндуковане частинками характеристичне рентгенiвське випромiнювання; альфа-частинки; “cкануючий ядерний зонд”; поверхневi наношари; промiжний шар; nuclear microanalysis; Rutherford backscattering; particle induced X-ray emission; alpha particles; “Nuclear scanning probe”; surface layers; interface layer
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018296

The Rutherford backscattering and particle-induced X-ray emission methods are used to study the surface layers in gold–silicon structures, the parameters of which govern the operational characteristics of electron devices constructed on their basis. The measurements are performed on a high-precision...