Оптичнi властивостi епiтаксiйних плiвок GaN, що перебували пiд дiєю мiкрохвильового опромiнення

• Видавець: Publishing house "Academperiodika"
• Дата: 2018
• Автори: Belyaev, A. E., Klyui, N. I., Konakova, R. V., Luk’yanov, A. M., Sveshnikov, Yu. M., Klyui, A. M.
• Формат: Стаття
• Мова: English; Ukrainian
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2018
• Теми: нiтрид галiю; епiтаксiйна плiвка; електровiдбивання; мiкрохвильова обробка; параметр уширення; внутрiшня деформацiя; gallium nitride; epitaxial film; electroreflectance; microwave treatment; broadening parameter; internal strain
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018409

The influence of a microwave treatment (MWT) on the optical properties of hexagonal GaN films has been studied. To estimate the internal mechanical strains and the degree of structural perfection in a thin near-surface layer of the film, the electroreflectance (ER) method is used. The ER spectra are...