Спектроскопія у зазорі: фаза відбитої хвилі і характеризація плівок

• Дата: 2018
• Автор: Turchin, A. V.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian; English
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2018
• Теми: interferometry; wave phase; surface characterization; inverse problem; -; iнтерферометрiя; хвильова фаза; характеристика поверхнi; зворотна задача
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018592
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

Optical methods that are used to characterize the state of a surface covered with films are based on the measurement of either the ratio between the complex reflection coefficients for mutually orthogonal light polarizations (ellipsometry) or the magnitudes of reflection coefficients themselves; aft...