Hladkovskiy, V. V., & Fedorovich, O. A. (2018). Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Publishing house "Academperiodika". https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hladkovskiy, V. V., und O. A. Fedorovich. Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Publishing house "Academperiodika", 2018. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Hladkovskiy, V. V., und O. A. Fedorovich. Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Publishing house "Academperiodika", 2018. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.