Hladkovskiy, V. V., & Fedorovich, O. A. (2018). Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Publishing house "Academperiodika". https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208
Chicago Style (17th ed.) CitationHladkovskiy, V. V., and O. A. Fedorovich. Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Publishing house "Academperiodika", 2018. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.
MLA (8th ed.) CitationHladkovskiy, V. V., and O. A. Fedorovich. Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю. Publishing house "Academperiodika", 2018. https://doi.org/10.15407/ujpe62.03.0208.