Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок

The thickness dependence of the surface roughness and the grain size of nanosilicon films, produced by low-pressure chemical vapour deposition, has been found, by using atomic force microscopy. A correlation between the surface roughness, grain size, and transformation of a film structure from the e...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2019
Автори: Nakhodkin, N. G., Rodionova, T. V., Sutyagina, A. S.
Формат: Стаття
Мова:English
Ukrainian
Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2019
Теми:
Онлайн доступ:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics