Механiзми еволюцiї поверхнi при ростi нелегованих нанокремнiєвих плiвок
The thickness dependence of the surface roughness and the grain size of nanosilicon films, produced by low-pressure chemical vapour deposition, has been found, by using atomic force microscopy. A correlation between the surface roughness, grain size, and transformation of a film structure from the e...
Збережено в:
Дата: | 2019 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English Ukrainian |
Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2019
|
Теми: | |
Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019277 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |