Buchumschlag

Взаємодія халькогенідних плівок As4Se96 з електронним пучком при використанні їх у ролі електронних резистів

The interaction of an electron beam with chalcogenide films As4Se96 has been studied. The kinetics of the formation of an electron-induced surface relief in the dose range 9,3 · 103–9,3 · 107 мC· cm−2&nbsp;is established. The parameters of the interaction of a film As4Se96 with an electron b...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2020
Hauptverfasser:	Bilanych, B. V., Shylenko, O., Latyshev, V. M., Feher, A., Bilanych, V. S., Rizak, V. M., Komanicky, V.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Publishing house "Academperiodika" 2020
Online Zugang:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019391
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Institution

Ukrainian Journal of Physics

Ähnliche Einträge

Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
von: B. V. Bilanych, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
von: B. V. Bilanych, et al.
Veröffentlicht: (2020)

Метод виміру площ земної поверхні при використанні електронних карт
von: Степанов, М.М.
Veröffentlicht: (2010)

Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем
von: Yukhymchuk, V.O., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Матеріали для оптичних сенсорів рентгенівського опромінювання на основі плівок (GaxIn1 – x)2Se3
von: Pop, M.M., et al.
Veröffentlicht: (2022)

ПЗЗ-фотоматриці з електронним множенням
von: Reva, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Модифікація електронних властивостей надтонких плівок β-Ga2O3 механічними впливами
von: Balabai, R.M., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Дослідження структурних властивостей халькогенідних стекол As₂S₃, легованих сріблом
von: Ревуцька, Л.О., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Збудження ядер електронним переходом
von: Dzyublik, A. Ya.
Veröffentlicht: (2018)

Чутливість матриць ПЗЗ із електронним множенням
von: Sizov, F. F., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
von: Тарнай, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Властивості і застосування халькогенідних стекол. Частина I (огляд)
von: Стронський, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Формування стрибка концентрацiї в неоднорiднiй iзотермiчнiй плазмi при взаємодiї з модульованим електронним пучком
von: Anisimov, I. O., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Возбуждение локализованных плазмонов электронным пучком
von: Довбня, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Авторезонансное ускорение электронов гауссовым пучком
von: Милантьев, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Mechanical properties of Cu 6 PS 5 I superionic crystals and thin films
von: V. V. Bilanych, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Mechanical properties of Cu₆PS₅І superionic crystals and thin films
von: Bilanych, V.V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Фрагментація молекули PTCDA електронним ударом
von: Шпеник, О.Б., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Іонізація молекул фруктози електронним ударом
von: Завілопуло, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2024)

Іонізація молекули етиленгліколю електронним ударом
von: Mykyta, M.I., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Effect of thermal conditions of welding on specifics of crack initiation in HAZ of joints of aluminium alloys V96 and V96tss
von: T. M. Labur, et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
von: Петров, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Збудження та іонізація аденіну електронним ударом
von: Суховія, М.І., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Коллоквиум МАС № 96 «Проблема нескольких тел»
Veröffentlicht: (1986)

Іонізація молекул амінокислот тирозину та треоніну електронним ударом
von: Vukstich, V.S., et al.
Veröffentlicht: (2022)

Прямий метод формування поверхневих рельєфних ґраток у плівках халькогенідних стекол
von: Рубіш, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Классификационный анализ акустооптических устройств управления лазерным пучком
von: Данилов, В.В.
Veröffentlicht: (2000)

Аномальное рассеяние электромагнитной волны релятивистским электронным пучком
von: Огнивенко, В.В.
Veröffentlicht: (2000)

Thermodynamic Estimation of Structural Components of Alloy V96Ts
von: V. I. Dubodielov, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Парціальні перерізи іонізації атома рубідію електронним ударом
von: Роман, В.І., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Іонізація та збудження молекул урацилу електронним ударом
von: Sukhoviya, M.I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Підвищення ефективності тепловідведення від потужних електронних пристроїв через термічні інтерфейси на основі плівок нітриду алюмінію
von: Руденко, Е.М., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Technological features of melting complex aluminium alloys of V96 type
von: V. E. Fedorchuk, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Дослідження аморфних халькогенідних матеріалів елементів пам’яті на основі фазових переходів
von: Кириленко, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Особливості одержання та структура халькогенідних склоподібних матеріалів для оптичного запису інформації
von: Риган, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол
von: Данько, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Suppression of the superconductivity in ultrathin amorphous Mo₇₈Ge₂₂ films observed by STM
von: Lotnyk, D., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Збудження резонансного переходу 51S – 51Po атома Sr електронним ударом
von: Nagy, E. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Подкритический реактор с совмещённой мишенью, управляемый протонным пучком
von: Гусев, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Влияние термических условий сварки на особенности зарождения трещин в ЗТВ соединений алюминиевых сплавов В96 и В96цс
von: Лабур, Т.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)