Формування нанокристалічного кремнію в плівках аморфного кремнію, легованого оловом

• Date: 2020
• Keywords: keywords
• Main Authors: Rudenko, R. M., Voitsihovska, O. O., Voitovych, V. V., Kras’ko, M. M., Kolosyuk, A. G., Povarchuk, V. Yu., Rudenko, M. P., Knorozok, L. M.
• Format: Article
• Language: English; Ukrainian
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2020
• Subjects: нанокристалiчний кремнiй; метало-iндукована кристалiзацiя; олово; -
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019570
• Journal Title: Ukrainian Journal of Physics

The process of crystalline silicon phase formation in tin-doped amorphous silicon (a-SiSn) films has been studied. The inclusions of metallic tin are shown to play a key role in the crystallization of researched a-SiSn specimens with Sn contents of 1–10 at% at temperatures of 300–500 ∘C. The crystal...