Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода
The processes of injection of a sputtered-and-ionized working material into the pulsed reflex discharge plasma have been considered at the initial stage of dense gas-metal plasma formation. A calculation model has been proposed to estimate the parameters of the sputtering mechanism for the required...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian English |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |