Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода
У роботі розглянуто процеси, пов'язані з введенням робочої речовини у плазму імпульсного відбивного розряду за рахунок розпилюючого механізму з метою створення густої багатокомпонентної газометалевої плазми. При цьому запропоновано розрахункову модель оцінки параметрів розпилюючого механізму, з...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська Англійська |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| _version_ | 1863131398348472321 |
|---|---|
| author | Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. |
| author_facet | Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. |
| author_sort | Kovtun, Yu.V. |
| baseUrl_str | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2022-01-12T15:02:50Z |
| description | У роботі розглянуто процеси, пов'язані з введенням робочої речовини у плазму імпульсного відбивного розряду за рахунок розпилюючого механізму з метою створення густої багатокомпонентної газометалевої плазми. При цьому запропоновано розрахункову модель оцінки параметрів розпилюючого механізму, за рахунок якого потрібна робоча речовина надходить у розряд. Одержані дані задовільно узгоджуються з результатами експерименту. |
| doi_str_mv | 10.15407/ujpe57.9.901 |
| first_indexed | 2025-10-02T01:17:38Z |
| format | Article |
| id | ujp2-article-2021185 |
| institution | Ukrainian Journal of Physics |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian English |
| last_indexed | 2025-10-02T01:17:38Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Publishing house "Academperiodika" |
| record_format | ojs |
| spelling | ujp2-article-20211852022-01-12T15:02:50Z Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода Estimation of the Efficiency of Material Injection into the Reflex Discharge by Sputtering the Cathode Material Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. - - У роботі розглянуто процеси, пов'язані з введенням робочої речовини у плазму імпульсного відбивного розряду за рахунок розпилюючого механізму з метою створення густої багатокомпонентної газометалевої плазми. При цьому запропоновано розрахункову модель оцінки параметрів розпилюючого механізму, за рахунок якого потрібна робоча речовина надходить у розряд. Одержані дані задовільно узгоджуються з результатами експерименту. The processes of injection of a sputtered-and-ionized working material into the pulsed reflex discharge plasma have been considered at the initial stage of dense gas-metal plasma formation. A calculation model has been proposed to estimate the parameters of the sputtering mechanism for the required working material to be injected into the discharge. The data obtained are in good accordance with experimental results. Publishing house "Academperiodika" 2012-09-30 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 10.15407/ujpe57.9.901 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 57 No. 9 (2012); 901 Український фізичний журнал; Том 57 № 9 (2012); 901 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe57.9 uk en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185/1891 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185/1892 |
| spellingShingle | - Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title | Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_alt | Estimation of the Efficiency of Material Injection into the Reflex Discharge by Sputtering the Cathode Material |
| title_full | Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_fullStr | Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_full_unstemmed | Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_short | Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_sort | оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| topic | - |
| topic_facet | - - |
| url | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 |
| work_keys_str_mv | AT kovtunyuv ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT skibenkoei ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT skibenkoai ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT yuferovvb ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT kovtunyuv estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT skibenkoei estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT skibenkoai estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT yuferovvb estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial |