Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода
The processes of injection of a sputtered-and-ionized working material into the pulsed reflex discharge plasma have been considered at the initial stage of dense gas-metal plasma formation. A calculation model has been proposed to estimate the parameters of the sputtering mechanism for the required...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian English |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of Physics| id |
ujp2-article-2021185 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
ujp2-article-20211852022-01-12T14:22:23Z Estimation of the Efficiency of Material Injection into the Reflex Discharge by Sputtering the Cathode Material Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. - - The processes of injection of a sputtered-and-ionized working material into the pulsed reflex discharge plasma have been considered at the initial stage of dense gas-metal plasma formation. A calculation model has been proposed to estimate the parameters of the sputtering mechanism for the required working material to be injected into the discharge. The data obtained are in good accordance with experimental results. У роботі розглянуто процеси, пов'язані з введенням робочої речовини у плазму імпульсного відбивного розряду за рахунок розпилюючого механізму з метою створення густої багатокомпонентної газометалевої плазми. При цьому запропоновано розрахункову модель оцінки параметрів розпилюючого механізму, за рахунок якого потрібна робоча речовина надходить у розряд. Одержані дані задовільно узгоджуються з результатами експерименту. Publishing house "Academperiodika" 2012-09-30 Article Article Peer-reviewed Рецензована стаття application/pdf application/pdf https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 10.15407/ujpe57.9.901 Ukrainian Journal of Physics; Vol. 57 No. 9 (2012); 901 Український фізичний журнал; Том 57 № 9 (2012); 901 2071-0194 2071-0186 10.15407/ujpe57.9 uk en https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185/1891 https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185/1892 |
| institution |
Ukrainian Journal of Physics |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian English |
| topic |
- - |
| spellingShingle |
- - Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| topic_facet |
- - |
| format |
Article |
| author |
Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. |
| author_facet |
Kovtun, Yu.V. Skibenko, E.I. Skibenko, A.I. Yuferov, V.B. |
| author_sort |
Kovtun, Yu.V. |
| title |
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_short |
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_full |
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_fullStr |
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_full_unstemmed |
Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_sort |
оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода |
| title_alt |
Estimation of the Efficiency of Material Injection into the Reflex Discharge by Sputtering the Cathode Material |
| description |
The processes of injection of a sputtered-and-ionized working material into the pulsed reflex discharge plasma have been considered at the initial stage of dense gas-metal plasma formation. A calculation model has been proposed to estimate the parameters of the sputtering mechanism for the required working material to be injected into the discharge. The data obtained are in good accordance with experimental results. |
| publisher |
Publishing house "Academperiodika" |
| publishDate |
2012 |
| url |
https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 |
| work_keys_str_mv |
AT kovtunyuv estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT skibenkoei estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT skibenkoai estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT yuferovvb estimationoftheefficiencyofmaterialinjectionintothereflexdischargebysputteringthecathodematerial AT kovtunyuv ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT skibenkoei ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT skibenkoai ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda AT yuferovvb ocínûvannâefektivnostívvedennârečoviniuvídbitijrozrâdzarahunokrozpilûvannâmateríalukatoda |
| first_indexed |
2023-03-24T08:59:26Z |
| last_indexed |
2023-03-24T08:59:26Z |
| _version_ |
1795757724854648832 |