Вплив активних обробок на фотоелектричні характеристики структур на основі плівок CdTe

• Date: 2012
• Main Authors: Klyui, N.I., Kostylyov, V.P., Lukyanov, A.N., Makarov, A.V., Chernenko, V.V., Khripunov, G.S., Kharchenko, N.M., Meriuts, A.V., Shelest, T.M., Lee, T.A., Klyui, A.N.
• Format: Article
• Language: Ukrainian; English
• Published: Publishing house "Academperiodika" 2012
• Subjects: -
• Online Access: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021270
• Journal Title: Ukrainian Journal of Physics

Досліджено фотоелектричні характеристики структур ITO/CdTe, виготовлених методом термічного вакуумного випаровування та шляхом осадження у квазізамкненому об'ємі до та після різних обробок. Частина зразків проходила "хлоридну" обробку, інша – відпал на повітрі. Після цього проводилась обробка зразків у плазмі водню та нанесення на них тонкої алмазоподібної плівки. Показано, що проведення "хлоридної" обробки структур ІТО/CdTe приводить до збільшення дифузійної довжини носіїв заряду у шарі CdTe. Проведення термовідпалу не впливає на значення дифузійної довжини носіїв заряду у шарі CdTe, але значно підвищує фоточутливість, що свідчить про зменшення на поверхні шару CdTe швидкості поверхневої рекомбінації. Шляхом комбінації термовідпалу, "хлоридної" обробки, плазмової обробки у водні та нанесення тонких алмазоподібних плівок отримано збільшення довжини дифузії носіїв заряду у шарі CdTe в усіх досліджуваних структурах ІТО/CdTe. На структурах ІТО/CdTe, отриманих термічним вакуумним випаровуванням, обробка у плазмі водню приводила до значного збільшення спектральної чутливості у діапазоні довжин хвиль 400–800 нм, а на структурах, які пройшли "хлоридну" обробку, значне збільшення спектральної чутливості досягалось після обробки у плазмі водню нанесення алмазоподібних плівок.