Осадження металічних плівок на мікрочастинки у пастці ВЧ магнетронного розряду
The technique for a metal film deposition on spherical microparticles in an RF plasma trap is presented. Both the particle confinement and the electrode sputtering are performed by a single RF magnetron discharge. The samples of a coated spheres are obtained and examined. The technique allows confin...
Gespeichert in:
| Datum: | 2022 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Publishing house "Academperiodika"
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021437 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |